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通用磁控濺射鍍膜機(jī)

價  格：詢價

產(chǎn)  地：更新時間：2021-05-31 14:57

品  牌：其他型  號：

狀  態(tài)：正常點擊量：2783

400-006-7520
聯(lián)系我時，請說明是在上海非利加實業(yè)有限公司上看到的，謝謝！

上海非利加實業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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通用磁控濺射鍍膜機(jī)

特點：

1、支持向上或向下的鍍膜方式；

2、的濺射靶材結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)膜厚分部的穩(wěn)定可靠；

3、高速旋轉(zhuǎn)的傘具與實際鍍膜工件的監(jiān)控位置，實現(xiàn)了所見即所得；

4、多通道透射式監(jiān)控，配合可調(diào)節(jié)膜厚修正板，實現(xiàn)了膜厚分布的反饋控制；

5、支持任意膜厚的控制；

6、通用的控制平臺，友好的人機(jī)界面，使客戶可以自行設(shè)置鍍膜機(jī)的所有控制參數(shù)；

7、開放式接口，方便安裝第三方的光學(xué)膜厚儀；

8、氣流和氣壓同時實時控制，適用出氣量大的低溫鍍膜。

  



產(chǎn)品參數(shù)

通用磁控濺射鍍膜機(jī)

工藝參數(shù)：

1、真空系統(tǒng)

     a) 極限真空度：4.0×10-5Pa 

     b) 抽至10Pa所用時間：Q 10 分鐘

     c) 漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

2、控制精度

     a) 靶材尺寸：8寸直徑

     b) 工件旋速: 20-120RPM

     c) 工件尺寸：直徑900mm

     d) 離子源：等離子體離子源

     e) 加熱溫度：上下雙加熱控制，Z高溫度350度

     f）高真空泵：DN400油擴(kuò)散泵或電子泵

     g）低真空泵組：機(jī)械泵+羅茨泵機(jī)組

     h）冷阱：雙組Polycold

3、光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS

     a) 波長精度：0.2nm

     b) 光強(qiáng)波動: 白光< 0.1%，激光< 0.02%

     c) 波長范圍: 400nm-1650nm

 



產(chǎn)品介紹



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